現(xiàn)代化的汽車正朝著能夠滿足人類需求、安全、舒適、方便和無污染的方向發(fā)展，只有一種交通工具。

實現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，前提是及時獲取各種信息，這必然要求汽車中大量使用各種傳感器。傳統(tǒng)傳感器體積大，重量大，成本高，在汽車中的應(yīng)用受到很大限制。

微型傳感器是目前最成功、最實用的微型機電設(shè)備，主要包括利用微型薄膜的機械變形產(chǎn)生電信號輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器。此外，還有微型溫度傳感器、磁場傳感器、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多小于1毫米。

伴隨著微電子加工技術(shù)，尤其是納米加工技術(shù)的進一步發(fā)展，傳感器技術(shù)也將由微型傳感器發(fā)展為納米傳感器。這類微型傳感器體積小，可以實現(xiàn)多種全新功能，便于大批量、高精度生產(chǎn)，單件成本低，易于形成大型、多功能的陣列，使其非常適合汽車應(yīng)用。

1)微加速傳感器。

當(dāng)前，安全氣囊是MEMS技術(shù)在未來的主要應(yīng)用。硅加速度計的測量范圍一般為50gn。硅加速度傳感器應(yīng)用較早。

2)表面微型機械陀螺。

傳統(tǒng)陀螺儀由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子、內(nèi)環(huán)、外環(huán)和底座組成。這種陀螺儀的內(nèi)外環(huán)通常由滾珠軸承支撐，通常由機械加工方法制成。加工精度高，難度大，制成的陀螺儀體積大，質(zhì)量重。微機械陀螺儀是一種檢測控制電路復(fù)雜的MEMS裝置。

微型機械陀螺平面外輪廓的結(jié)構(gòu)參數(shù)為1毫米2，厚度僅為2μm。其工作原理是:當(dāng)在敏感質(zhì)量塊上施加DC偏置電壓，在活動叉指和固定叉指之間施加適當(dāng)?shù)慕涣骷铍妷簳r，敏感質(zhì)量塊會在y軸方向產(chǎn)生固有振動。

3)車輛監(jiān)控和自診斷傳感器。

在車輛監(jiān)控和自診斷方面，MEMS技術(shù)的主要應(yīng)用之一是輪胎壓力監(jiān)控，其次是冷卻、制動等系統(tǒng)的傳感器。

另外，在亮度控制系統(tǒng)中使用光傳感器的電子駕駛系統(tǒng)中使用磁傳感器、氣流速度傳感器的自動空調(diào)系統(tǒng)中使用室內(nèi)溫度傳感器、吸氣溫度傳感器、風(fēng)量傳感器、日照傳感器、濕度傳感器的方向傳感器、速度傳感器等。

4)高溫微電子在汽車中的應(yīng)用。

高溫微電子在汽車發(fā)動機控制、氣缸和排氣管、電子懸架和制動、動力管理和分配等監(jiān)控中發(fā)揮著非常重要的作用。

舉例來說于發(fā)動機控制的高溫微電子傳感器和控制器有助于更好地監(jiān)測和控制燃燒，使燃燒更加徹底，提高燃燒效率。但是，傳統(tǒng)硅半導(dǎo)體技術(shù)制作的微電子設(shè)備不能在高溫下工作，不能勝任。為了解決高溫環(huán)境下的溫度測量問題，必須開發(fā)新的材料來取代傳統(tǒng)的半導(dǎo)體材料。

基于MEMS技術(shù)的微型傳感器在降低汽車電子系統(tǒng)成本和提高性能方面具有優(yōu)勢，開始取代基于傳統(tǒng)機電技術(shù)的傳感器。隨著納米技術(shù)的進步，體積小、成本低、功能強的微型傳感器廣泛應(yīng)用于汽車的各個方面。

未來幾年，包括發(fā)動機運行管理、廢氣和空氣質(zhì)量控制、制動防抱死系統(tǒng)、車輛動力控制、自適應(yīng)導(dǎo)航和車輛行駛安全系統(tǒng)的應(yīng)用將為制造執(zhí)行系統(tǒng)技術(shù)提供廣闊的市場。

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