壓力傳感器主要應(yīng)用在汽車各種壓力的測(cè)量中：

主要用于測(cè)量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)油壓、進(jìn)水管壓力和輪胎壓力等。該傳感器以單晶硅為材料，利用MEMS技術(shù)，在材料的中間制造出力敏感膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)，形成四個(gè)應(yīng)變電阻，再通過(guò)惠斯頓電橋連接成電路，獲得高靈敏度。

        汽車上使用的MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動(dòng)變壓器式和聲表面波式等幾種常見(jiàn)形式。”MEMS加速度計(jì)原理以牛頓經(jīng)典力學(xué)定律為基礎(chǔ)，一般由懸掛系統(tǒng)和檢測(cè)質(zhì)量組成，通過(guò)硅質(zhì)量塊的偏移來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的檢測(cè)，主要應(yīng)用于汽車氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等，除電容式、壓阻式外，MEMS加速度計(jì)還具有壓電式、隧道電流式、諧振式和熱電偶式等形式。而電容式MEMS加速度計(jì)由于其靈敏度高，溫度對(duì)測(cè)量精度影響小，是MEMS微加速度計(jì)的主流產(chǎn)品。

微型陀螺是一種角速率傳感器，主要應(yīng)用于汽車導(dǎo)航GPS信號(hào)補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng)，其中包括振動(dòng)式、轉(zhuǎn)子式等多種傳感器。

大多數(shù)的振動(dòng)陀螺是利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)所產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來(lái)感測(cè)角速度的。舉例來(lái)說(shuō)，汽車轉(zhuǎn)彎時(shí)，系統(tǒng)通過(guò)陀螺儀測(cè)量角速度，以決定轉(zhuǎn)向是否到位，主動(dòng)地在內(nèi)側(cè)或外側(cè)車輪上加適當(dāng)?shù)闹苿?dòng)，以防止汽車脫離車道，通常，這種系統(tǒng)與低加速度計(jì)組成主動(dòng)控制系統(tǒng)。

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