隨著物聯(lián)網(wǎng)、移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，微傳感器市場(chǎng)也在快速增長(zhǎng)。

微傳感器由傳感器元件、信號(hào)調(diào)節(jié)電路、控制器（或處理器）組成，具有數(shù)據(jù)采集、轉(zhuǎn)換、分析甚至決策功能。智能化可以提高傳感器的精度，降低功耗和體積，實(shí)現(xiàn)更容易上網(wǎng)，擴(kuò)大傳感器的應(yīng)用范圍，使其發(fā)展更快更有效。

與物理傳感器芯片不同的傳感器芯片，它涉及化學(xué)、材料、自動(dòng)化、精密儀器、電子、半導(dǎo)體制造、軟件和算法等多個(gè)學(xué)科，制造困難，工藝流程復(fù)雜。目前市售的氣體傳感器一般基于單晶硅材料，MOS金屬氧化物是氣體敏感材料。氣體敏感材料暴露在被測(cè)氣體中時(shí)，氣體與其發(fā)揮作用，引起電導(dǎo)率和電阻率的變化，產(chǎn)生含有氣體成分和濃度的電信號(hào)。經(jīng)過信號(hào)處理電路處理，可以識(shí)別氣體的成分和濃度。金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏傳感器采用微電子成膜技術(shù)，在硅基沉積金屬氧化物敏感層，利用敏感層下的阻力作為加熱器，利用二極管作為溫度測(cè)量元件，所需的信號(hào)電路和讀取電路也可以集成到同一個(gè)硅芯片上。微型氣體敏感器的特點(diǎn)是：加熱電極、絕緣層和測(cè)試電極層。

隨著技術(shù)水平的提高，市場(chǎng)對(duì)小型、低功耗、智能化、模塊化氣體傳感器的需求越來越大，特別是在物聯(lián)網(wǎng)等廣泛應(yīng)用的推動(dòng)下，微型智能傳感器的應(yīng)用空間也越來越大。基于傳感器技術(shù)的半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器開始廣泛應(yīng)用于智能家電、智能家居、移動(dòng)安裝、物聯(lián)網(wǎng)環(huán)境監(jiān)測(cè)、建筑控制、醫(yī)療健康早期篩查等氣體檢測(cè)領(lǐng)域。

長(zhǎng)期以來，氣體傳感器在物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展中發(fā)揮著重要作用。燃?xì)鈧鞲衅鞒霈F(xiàn)在采暖、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）系統(tǒng)、空氣凈化器、智能窗、汽車、醫(yī)療器械、大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)、石油化工等行業(yè)。絲印技術(shù)為氣體傳感器的小型化打開了大門，使這些微型氣體傳感器能夠集成到智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備等消費(fèi)電子產(chǎn)品中。未來，增加功能密度和精度將成為微傳感器的重要驅(qū)動(dòng)因素，為更多應(yīng)用場(chǎng)景帶來可預(yù)測(cè)的價(jià)值！

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